후지필름, 평택서 EUV 포토레지스트 생산 확대해 삼성전자 인증 통과

일본 후지필름이 삼성전자와의 협력을 위해 일본 시즈오카와 한국 평택에 EUV 포토레지스트(PR) 생산기반을 확대했다. 두 거점의 생산·검사 설비는 지난해 10월 가동했으며, 일부 EUV PR 제품은 대량 양산 진입 전이지만 주요 고객사 인증을 통과했다. 평택 공장은 기존 이미지센서용 컬러 모자이크 소재 생산 거점을 선단 공정용 고부가 제품 시설로 확대한 것이다. 후지필름은 삼성전자 천안사업장 인근 CMP 슬러리 생산시설도 생산능력을 약 30% 늘려 2027년 상반기 추가 가동할 계획이며, EUV PR 개발에는 벨기에 imec의 공동 연구 인프라를 활용했다.

핵심

1. 후지필름이 일본 시즈오카와 한국 평택의 EUV PR 생산기반을 확대했고, 두 거점 설비는 지난해 10월 가동했다.
2. 일부 EUV PR 제품이 대량 양산 전 단계에서 주요 고객사 인증을 통과했다.
3. 삼성전자 천안사업장 인근 CMP 슬러리 생산시설의 생산능력을 약 30% 늘려 2027년 상반기 추가 시설을 가동한다.
4. EUV PR 개발에는 고가의 EUV 노광장비를 자체 보유하기 어려워 벨기에 imec의 공동 연구 인프라를 활용했다.