독일 머크가 충북 음성 사업장에 반도체 박막 공정용 몰리브덴 전구체인 이산화이염화몰리브덴(MoO2Cl2) 신규 생산설비를 구축하고 개소식을 열었다. 몰리브덴은 반도체 회로 미세화와 메모리 적층 구조 복잡화에 따라 텅스텐 대비 전기저항을 낮추는 데 유리해 3D 낸드뿐 아니라 D램 워드라인·로직 반도체로 활용이 확대될 수 있는 소재다. 머크는 음성의 생산 역량과 경기 안산 사업장의 소재 공급 시스템 'CK 베이퍼'를 결합해 소재·용기·공급 장치를 통합한 솔루션을 제공할 계획이다. 머크 일렉트로닉스 CEO는 한국을 세계 3대 반도체 소재 시장으로 꼽으며 향후 5년 내 반도체 소재·솔루션 수요가 두 배로 늘어날 것으로 예상했다.
핵심
- 머크가 충북 음성에 몰리브덴 전구체 MoO2Cl2 신규 생산설비를 구축해 개소식을 열었다.
- 몰리브덴은 미세화된 회로에서 텅스텐보다 전기저항을 낮추는 데 유리한 차세대 박막 소재다.
- 음성 생산 역량과 안산의 'CK 베이퍼' 공급 시스템을 결합해 통합 솔루션을 제공할 계획이다.
- 머크는 한 지역 의존을 낮추기 위해 미국 등 다른 지역에도 생산 역량을 구축할 방침이다.
원문 · 뉴시스 — [현장] 독일 화학기업 머크, 한국에 차세대 반도체 소재 생산설비 "韓시장 공략"
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